7N теллур цэвэршүүлэх процесс нь бүсийн цэвэршүүлэлт болон чиглэлийн талсжуулалтын технологийг хослуулсан. Гол процессын дэлгэрэнгүй мэдээлэл болон параметрүүдийг доор харуулав.
1. Бүсийг цэвэршүүлэх үйл явц
Тоног төхөөрөмжийн дизайн
Олон давхаргат цагираг хэлбэртэй бүс хайлуулах завь: Диаметр нь 300–500 мм, өндөр нь 50–80 мм, өндөр цэвэршилттэй кварц эсвэл бал чулуугаар хийгдсэн.
Халаалтын систем: ±0.5°C температурын хяналтын нарийвчлалтай, хамгийн ихдээ 850°C ажиллах температуртай хагас дугуй хэлбэртэй эсэргүүцэлтэй ороомог.
Гол параметрүүд
Вакуум: Исэлдэлт болон бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд ≤1×10⁻³ Па.
Бүсийн хөдөлгөөний хурд: 2–5 мм/цаг (хөтлөгч голоор нэг чиглэлд эргэлдэнэ).
Температурын градиент: Хайлсан бүсийн урд хэсэгт 725±5°C, арын ирмэг дээр <500°C хүртэл хөрнө.
Нэвтрэх: 10–15 мөчлөг; ялгах коэффициент <0.1 (жишээ нь, Cu, Pb) бүхий хольцын хувьд зайлуулах үр ашиг >99.9%.
2. Чиглэлийн талсжилтын процесс
Хайлмал бэлтгэх
Материал: Бүсийн цэвэршүүлэлтээр цэвэршүүлсэн 5N теллур.
Хайлах нөхцөл: Өндөр давтамжийн индукцийн халаалт ашиглан 500–520°C температурт идэвхгүй Ar хийн дор (≥99.999% цэвэршилттэй) хайлуулна.
Хайлмалаас хамгаалах: Ууршилтыг дарангуйлах өндөр цэвэршилттэй бал чулуун бүрхүүл; хайлмал цөөрмийн гүнийг 80-120 мм-ийн түвшинд байлгана.
Кристаллжилтын хяналт
Өсөлтийн хурд: 1–3 мм/цаг, босоо температурын градиент 30–50°C/см байна.
Хөргөлтийн систем: Доод хэсгийг албадан хөргөх зориулалттай усан хөргөлттэй зэс суурь; дээд хэсэгт цацрагийн хөргөлт.
Холилтыг ялгах: Fe, Ni болон бусад хольцууд нь 3-5 дахин хайлуулах циклийн дараа үр тарианы хил хязгаарт баяжиж, концентрацийг ppb түвшин хүртэл бууруулдаг.
3. Чанарын хяналтын үзүүлэлтүүд
Параметрийн стандарт утгын лавлагаа
Эцсийн цэвэршилт ≥99.99999% (7N)
Нийт металлын хольц ≤0.1 ppm
Хүчилтөрөгчийн агууламж ≤5 ppm
Кристал чиглэлийн хазайлт ≤2°
Эсэргүүцэл (300 K) 0.1–0.3 Ω·см
Процессын давуу талууд
Хэмжих боломж: Олон давхаргат цагираг хэлбэртэй бүсийн хайлуулах завь нь уламжлалт загвартай харьцуулахад багцын багтаамжийг 3-5 дахин нэмэгдүүлдэг.
Үр ашиг: Нарийвчлалтай вакуум болон дулааны хяналт нь хольцыг өндөр түвшинд зайлуулах боломжийг олгодог.
Кристал чанар: Хэт удаан өсөлтийн хурд (<3 мм/цаг) нь дислокацийн нягтрал багатай болон дан талст бүрэн бүтэн байдлыг хангадаг.
Энэхүү цэвэршүүлсэн 7N теллури нь хэт улаан туяаны мэдрэгч, CdTe нимгэн хальсан нарны зай, хагас дамжуулагч суурь зэрэг дэвшилтэт хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой.
Ашигласан материал:
теллурийн цэвэршүүлэлтийн талаарх үе тэнгийнхний хянасан судалгаанаас гарсан туршилтын өгөгдлийг тэмдэглэнэ үү.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 3-р сарын 24